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深紫外硅片缺陷檢測鏡頭

2019-12-23 分享

  檢測設備在半導體制造行業處于非常重要的地位,需求數量也越來越多,尤其是高端檢測設備是半導體行業的關鍵技術設備之一。光電所依托國家重大專項任務,發展了深紫外方向,為半導體檢測設備企業研發了硅片缺陷檢測鏡頭。該鏡頭成功應用于非圖形缺陷檢測設備,最高可實現60nm的檢測靈敏度。在半導體制造行業內具有廣闊的應用前景。

 

 

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