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超精密光學制造與檢測

2019-12-23 分享

  建立了超精密光學制造與檢測平臺,具備加工300mm口徑以內各類光學玻璃材料平面、球面、非球面、柱面、錐鏡等透鏡和反射鏡能力,擁有支持完整工藝鏈的高端數控加工設備。突破了一系列超精密光學制造和檢測關鍵技術,平面和球面達到深亞納米精度,非球面達到亞納米精度。 

  基于深亞納米超高精度檢測及制造技術,可實現平面和球面光學元件:面形精度優于0.3nm RMS,表面粗糙度優于0.2nm RMS;非球面光學元件:面形精度優于1nm RMS,表面粗糙度優于0.3nm RMS。

  

   

     球面透鏡                     非球面透鏡                碳化硅反射鏡                  1等平晶 

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